運動方式  

   頻率負載曲線  

  閉環曲線  

閉環傳感輸出監測電壓與偏轉鏡輸出偏轉角度成線性關系。

  高可靠性及長壽命、高穩定性及動態性  

   結構原理  

P31系統內部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動器，被集成在成熟的、經過FEA建模分析的鉸鏈導向系統。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷，可提供更好的穩定性及可靠性。

壓電促動器、導向機構及傳感器是免維護的，不易損壞且提供超高的可靠性。先進的鉸鏈/杠桿設計將慣性zui小化，允許25mrad的大角度俯仰/偏轉范圍（可將光束偏轉50mrad），且具有非常快的響應速度，在毫秒級范圍。

除了大偏轉角度及高動態，P31還提供了亞微弧度的分辨率。內部集成高分辨率、全橋的應變傳感器（SGS）實現了的位置控制，具有優異的重復定位精度，通常為滿行程的0.2%。

壓電偏轉鏡（兩軸運動）是基于平行運動學設計，具有共面軸及移動面。四個執行機構（壓電促動器）以90°角平分放置，成對的差分控制分布。兩對差分驅動壓電促動器在較大溫度范圍內提供zui高可實現的角度穩定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現，采用橋式連接電路控制。

  可定制鏡片轉接座  

  驅動控制  

P31壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90^。相差輸入，通過控制電壓的大小，對不同的光路距離，可進行一定范圍的圓形范圍掃描，如下右圖所示。

  應用  

  產品測試  

       • 圖像處理/穩定  • 光束掃描   • 隔行掃描、抖動  • 光束偏擺/穩定  • 光學、激光掃描、通信  • 光學濾波器/開關  • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 自適應光學、穩像 • 干涉